加速度计和陀螺仪
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加速度传感器:通过微机械加工技术在硅片上加工形成了一个机械悬臂。它与相邻的电极形成了两个电容。由于加速度使得机械悬臂与两个电极之间的距离发生变化,从而改变了两个电容的参数。通过集成的开关电容放大电路量测电容参数的变化,形成了与加速度成正比的电压输出。似乎只需要加速度就可以获得车模的倾角,再对此信号进行微分便可以获得倾角加速度。但在实际车模运行过程中,由于车模本身的运动所产生的加速度会产生很大的干扰信号叠加在上述测量信号上,使得输出信号无法准确反映车模的倾角车模运动产生的振动加速度使得输出电压在实际倾角电压附近波动,可以通过数据平滑滤波将其滤除。但是平滑滤波也会使得信号无法实时反映车模倾角的变化,从而减缓对于车模车轮控制,使得车模无法保持平衡。因此对于车模直立控制所需要的倾角信通过微机械加工技术在硅片上加工形成了一个机械悬臂。它与相邻的电极形成了两个电容。由于加