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SECS/GEM通信协议学习笔记
阅读背景:
SECS/GEM通信协议学习笔记
发表于:2020-11-07
来源:互联网
了解下半导体设备现场的通讯协议,对于GEM的开发是半导体设备管理/生产/维护软件的一部分。
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